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经营范围
发明名称
Semiconductor device manufacturing method
摘要
申请公布号
EP1276148(B1)
申请公布日期
2010.12.15
申请号
EP20020290517
申请日期
2002.03.04
申请人
FUJITSU SEMICONDUCTOR LIMITED
发明人
KAZUHIKO, TAKADA;SHINJI, SUGATANI
分类号
H01L21/8247;H01L21/28;H01L27/10;H01L27/115;H01L29/423;H01L29/788;H01L29/792
主分类号
H01L21/8247
代理机构
代理人
主权项
地址
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