发明名称 | 化学放大正型光敏热固性树脂组合物、形成固化制品的方法及制备功能器件的方法 | ||
摘要 | 本发明提供一种用于制备永久膜的光敏热固性树脂组合物,其能够形成树脂层,所述的树脂层在形成图案后通过加热粘合具有优异的流动性,并且也具有优异的粘合力,以及粘合性能和/或密封性能。该组合物含有:(A)碱溶性树脂和(C)交联聚乙烯基醚化合物的反应产物、(B)在用辐射线的辐照下生成酸的化合物和(D)环氧树脂。 | ||
申请公布号 | CN1875322B | 申请公布日期 | 2010.12.15 |
申请号 | CN200480031619.3 | 申请日期 | 2004.11.18 |
申请人 | 东京应化工业株式会社 | 发明人 | 高桥亨;胜又直也;前田浩辉 |
分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 陈长会 |
主权项 | 一种化学放大正型光敏热固性树脂组合物,其包含:(A)碱溶性树脂和(C)交联聚乙烯基醚化合物的反应产物、(B)在用辐射线的辐照下生成酸的化合物和(D)环氧树脂。 | ||
地址 | 日本神奈川县 |