发明名称 化学放大正型光敏热固性树脂组合物、形成固化制品的方法及制备功能器件的方法
摘要 本发明提供一种用于制备永久膜的光敏热固性树脂组合物,其能够形成树脂层,所述的树脂层在形成图案后通过加热粘合具有优异的流动性,并且也具有优异的粘合力,以及粘合性能和/或密封性能。该组合物含有:(A)碱溶性树脂和(C)交联聚乙烯基醚化合物的反应产物、(B)在用辐射线的辐照下生成酸的化合物和(D)环氧树脂。
申请公布号 CN1875322B 申请公布日期 2010.12.15
申请号 CN200480031619.3 申请日期 2004.11.18
申请人 东京应化工业株式会社 发明人 高桥亨;胜又直也;前田浩辉
分类号 G03F7/004(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I 主分类号 G03F7/004(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 陈长会
主权项 一种化学放大正型光敏热固性树脂组合物,其包含:(A)碱溶性树脂和(C)交联聚乙烯基醚化合物的反应产物、(B)在用辐射线的辐照下生成酸的化合物和(D)环氧树脂。
地址 日本神奈川县