| 发明名称 | 辐射敏感树脂组合物 | ||
| 摘要 | 一种辐射敏感树脂组合物，其包含(A)具有硬化性能的碱溶性树脂、(B)醌二叠氮化合物、(C)溶剂和(D)硅烷偶联剂。 | ||
| 申请公布号 | CN1716094B | 申请公布日期 | 2010.12.15 |
| 申请号 | CN200510079171.9 | 申请日期 | 2005.06.28 |
| 申请人 | 住友化学株式会社 | 发明人 | 川口裕次郎;中野由子;白川政和 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G02F1/133(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 陈平 |
| 主权项 | 一种辐射敏感树脂组合物，其包含(A)具有硬化性能的碱溶性树脂、(B)醌二叠氮化合物、(C)溶剂和(D)硅烷偶联剂。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||