Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil

摘要

Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit einem verstellbaren Element, welches zumindest über eine Feder (12) mit einer Halterung (16) verbunden ist, einer ersten Sensoreinrichtung (22) mit mindestens einem ersten piezo-resistiven Sensorelement (76b bis 82b), welche ein erstes Sensorsignal bezüglich einer ersten mechanischen Spannung bereitstellt, wobei das erste piezo-resistive Sensorelement (76b bis 82b) auf oder in der Feder (12) und/oder einem Verankerungsbereich der Feder (12ung (24) mit mindestens einem zweiten piezo-resistiven Sensorelement (96b bis 102b), welche ein zweites Sensorsignal bezüglich einer zweiten mechanischen Spannung bereitstellt, wobei das zweite piezo-resistive Sensorelement (96b bis 102b) auf oder in der Feder (12) und/oder einem Verankerungsbereich der Feder (12) angeordnet ist. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil.