发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR STACKING OR TRANSPORTING A PLURALITY OF FLAT SUBSTRATES |
摘要 |
<p>Eine Vorrichtung zum Stapeln einer Vielzahl von Siliziumwafem weist einen aufrecht stehenden Maschinencarrier auf zur Aufnahme einer Vielzahl der Siliziumwafer, wobei die Siliziumwafer in dem Maschinencarrier in horizontaler Position vorgesehen sind. Die Vorrichtung weist drei gleiche Beladekassetten auf zum Einbringen einiger Siliziumwafer darin. Der Maschinencarrier weist auch Aufnahmevorrichtungen für die Beladekassetten auf, wobei eine Beladekassette eine untere Tragefläche aufweist zum stapelartigen Darauflegen der Siliziumwafer sowie eine im Wesentlichen rechtwinklig dazu verlaufende Rückseite. Die Beladekassette ist derart ausgebildet, dass die der Rückseite gegenüberliegende Seite sowie die Oberseite frei zugänglich sind.</p> |
申请公布号 |
WO2010136568(A1) |
申请公布日期 |
2010.12.02 |
申请号 |
WO2010EP57428 |
申请日期 |
2010.05.28 |
申请人 |
SCHMID TECHNOLOGY SYSTEMS GMBH;GREBER, REINER;STRUGAR, MARIJAN;SCHULTZE, THOMAS |
发明人 |
GREBER, REINER;STRUGAR, MARIJAN;SCHULTZE, THOMAS |
分类号 |
B28D5/00;B65G59/02;H01L21/673;H01L21/677 |
主分类号 |
B28D5/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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