图像传感器及其制造方法、传感器像素阵列的互连布图

摘要

本发明公开了一种互连布图，一种包括该互连布图的图像传感器和制造该图像传感器的方法，该图像传感器分别使用在有效像素区内的第一电有效物理互连布图图案和在暗像素区内的第二电有效物理互连布图图案，第二电有效物理互连布图图案在空间上与所述第一电有效物理互连布图图案不同。所述第二电有效物理互连图案包括至少一夹置于光屏蔽层和在其下对准的光传感器区之间的电有效互连层，因而通常提供较高的布线密度。在所述第二布局图案内较高的布线密度提供了可以用提高的制造效率和减少的金属化层来制造图像传感器。

主权项

一种传感像素阵列的互连布图，包括：第一电有效物理互连图案，位于多个有效像素内；和第二电有效物理互连图案，与第一电有效物理互连图案在空间上不同，位于多个暗像素内，所述第二电有效物理互连图案包括至少一未包括在所述第一电有效物理互连图案内的互连层，该互连层如果包括在所述第一电有效物理互连图案内则在空间上位于一光路内。