| 发明名称 | 保护膜制造方法及其制造装置 | ||
| 摘要 | 一种保护膜的制造装置，其具有：成膜室(32)；向成膜室(32)导入至少气体的气体导入口(47)；使成膜室(32)排气的排气泵(43)；与排气泵(43)独立地控制水的排气速度的冷凝阱；以及，用于控制冷凝阱的冷却温度的温度控制部；控制冷凝阱的冷却温度以控制水的排气速度，从而能够一直以同一条件稳定地制造易受水的分压的影响的保护膜，实现具有耐溅射性和良好二次电子发射特性的保护膜。 | ||
| 申请公布号 | CN101090992B | 申请公布日期 | 2010.12.01 |
| 申请号 | CN200680001501.5 | 申请日期 | 2006.09.11 |
| 申请人 | 松下电器产业株式会社 | 发明人 | 大江良尚;上谷一夫;盐川晃;沟上要;加道博行 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I;H01J9/02(2006.01)I;H01J11/02(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 李峥;于静 |
| 主权项 | 一种等离子显示面板的制造方法，其使用了连续地在多个基板上形成保护膜的基板输送型的蒸镀装置，其特征在于，该方法包括：当在成膜室内形成所述保护膜时，至少导入氧气；利用第一排气部，保持所述成膜室的全压固定；利用具有冷凝阱的第二排气部，将所述冷凝阱的冷却温度控制在170K到210K的范围内，并且与所述第一排气部相独立地排放水；将所述成膜室的氢气和氧气的分压比控制在一定范围内；由此在所述基板上形成氧化镁膜作为所述保护膜。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||