液氩纯度分层控制装置

摘要

本实用新型公开了一种液氩纯度分层控制装置，包括精氩塔、纯氩罐和高纯氩罐；精氩塔引出一设置有液氩含氮分析仪和液氩含氧分析仪的管道；管道又分为两个子管道；一个子管道经液氩进纯氩罐手动进口阀与纯氩罐相连通，另一个子管道经液氩进高纯氩罐手动进口阀与高纯氩罐相连通；在与纯氩罐相连接的子管道上还设置有一液氩进纯氩罐纯度连锁控制阀；在与高纯氩罐相连接的子管道上还设置有一液氩进高纯氩罐纯度连锁控制阀。该装置具有结构简单、操作使用方便等优点，尤为重要的是，实行液氩纯度分层控制后，高纯氩产量因高纯氩能够得到即时转换较之前提高15％；且因进罐转换不及时造成的液氩罐纯度污染事件不再发生。

主权项

一种液氩纯度分层控制装置，包括精氩塔(1)、纯氩罐(2)和高纯氩罐(3)；所述精氩塔(1)底部引出一管道，管道上依次设置有液氩含氮分析仪(4)和液氩含氧分析仪(5)；所述管道经液氩出塔纯度连锁控制阀(6)后分为两个子管道；一个所述子管道经液氩进纯氩罐手动进口阀(9)与纯氩罐(2)相连通，另一个子管道经液氩进高纯氩罐手动进口阀(10)与高纯氩罐(3)相连通；其特征在于：设置在管道上的所述液氩出塔纯度连锁控制阀(6)经由执行部件与组态控制系统相连接；在与纯氩罐(2)相连接的所述子管道上还设置有一由组态控制系统控制的液氩进纯氩罐纯度连锁控制阀(7)；在与高纯氩罐(3)相连接的所述子管道上还设置有一由组态控制系统控制的液氩进高纯氩罐纯度连锁控制阀(8)。