精密加工设备和精密加工方法

摘要

一种精密加工设备，其构造成使得丝杠机构和致动器安装在第二支座上，第二支座支撑旋转砂轮的旋转装置，并且在粗磨阶段到超精磨阶段中，在适当地调整第二支座的移动量的同时执行磨削。位姿控制装置置于第一支座和旋转磨削目标体的旋转装置之间。通过光探针测量磨削目标体的厚度和平整度，并且将测量结果传送到计算机。然后将反馈指令传送到位姿控制装置以降低目标值和测量值之间的差，并且因此进行位姿控制。

主权项

一种精密加工设备(1)，其包括：旋转磨削目标体(a)的第一旋转装置(6a)以及支撑所述第一旋转装置(6a)的第一支座(2)；旋转砂轮(b)的第二旋转装置(6b)以及支撑所述第二旋转装置(6b)的第二支座(3)；移动装置(4、5)，其用于使所述第一支座(2)和所述第二支座(3)选择性地彼此移近或移离；控制装置(94)，其用于控制所述第一支座(2)和所述第二支座(3)由所述移动装置(4、5)所移动的量；测量装置(91、92)，其用于测量所述磨削目标体(a)的厚度和平整度；以及位姿控制装置(7)，其用于控制所述第一旋转装置(6a)或所述第二旋转装置(6b)的位姿，所述位姿控制装置(7)置于所述第一旋转装置(6a)和所述第一支座(2)之间或所述第二旋转装置(6b)和所述第二支座(3)之间；其中：所述移动装置(4、5)包括由丝杠机构形成的第一移动部分(4)和由基于压力控制的致动器形成的第二移动部分(5)，所述移动装置(4、5)根据情况的需要选择性地使用所述第一移动部分(4)和所述第二移动部分(5)使所述第一支座(2)和所述第二支座(3)相对于彼此移动，并且所述控制装置(94)构造成基于由所述测量装置(91、92)获取的测量结果调整所述第一支座(2)和所述第二支座(3)的移动量和/或所述位姿控制装置(7)的位姿以获得所述磨削目标体(a)的预定厚度和平整度。