发明名称 artigo revestido com pelìcula de óxido condutora transparente dopada para ajustar o nìvel de fermi e método para sua fabricação
摘要 ARTIGO REVESTIDO COM PELìCULA DE óXIDO CONDUTORA TRANSPARENTE DOPADA PARA AJUSTAR O NìVEL DE FERMI E MéTODO PARA SUA FABRICAçãO. Película condutora transparente baseada em óxido (100) que é formada em um substrato. A película pode ser formada por depósito pulverizado catodicamente, para poder incluir tanto um dopante primário (por exemplo, AI) como um co-dopante (por exemplo, Ag). O benefício de usar o co-dopante no depósito da película inclusiva 100 pode ser de duas formas: a) previne ou reduz a autocompensação do dopante primário por um posicionamento mais apropriado do nível Fermi, e/ou b) pode promover a desfragmentação do dopante primário, liberando assim espaço na subcruza- mento do metal e permitindo mais dopante primário para criar centros elétricos ativos para melhorar a condutividade da película. Assim sendo, o uso de co-dopante permite ao dopante primário ser mais eficaz no aprimoramento da condutividade da película inclusiva TCO, sem sacrificar significativamente as características de transmissão visível. Um exemplo TCO em algumas modalidades é ZnAlO~X~:Ag.
申请公布号 BRPI0612688(A2) 申请公布日期 2010.11.30
申请号 BR2006PI12688 申请日期 2006.06.29
申请人 GUARDIAN INDUSTRIES CORP. 发明人 ALEXEY KRASNOV;YIWEI LU
分类号 C03C17/34;C03C17/00;C03C17/23;C04B35/453;C23C14/08;C23C14/34 主分类号 C03C17/34
代理机构 代理人
主权项
地址