摘要 |
ARTIGO REVESTIDO COM PELìCULA DE óXIDO CONDUTORA TRANSPARENTE DOPADA PARA AJUSTAR O NìVEL DE FERMI E MéTODO PARA SUA FABRICAçãO. Película condutora transparente baseada em óxido (100) que é formada em um substrato. A película pode ser formada por depósito pulverizado catodicamente, para poder incluir tanto um dopante primário (por exemplo, AI) como um co-dopante (por exemplo, Ag). O benefício de usar o co-dopante no depósito da película inclusiva 100 pode ser de duas formas: a) previne ou reduz a autocompensação do dopante primário por um posicionamento mais apropriado do nível Fermi, e/ou b) pode promover a desfragmentação do dopante primário, liberando assim espaço na subcruza- mento do metal e permitindo mais dopante primário para criar centros elétricos ativos para melhorar a condutividade da película. Assim sendo, o uso de co-dopante permite ao dopante primário ser mais eficaz no aprimoramento da condutividade da película inclusiva TCO, sem sacrificar significativamente as características de transmissão visível. Um exemplo TCO em algumas modalidades é ZnAlO~X~:Ag.
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