| 摘要 |
<p>【課題】組み立ての利便性という目的を図るため、固定座に枢接でき、さらにウェハを固定するために蓋内に固定されることで、使用時に微粒の粉塵の発生を減少させることができるウェハ固定パッドを提供する。【解決手段】ウェハ固定パッドに関し、主に固定パッド１と、該固定パッドの両側にそれぞれ設けられ、ウェハにスムーズに接触し、両者が損傷しないようにする接触部１１と、固定パッドと接触部との間に複数設けられ、固定パッドの強度を増強する支持部１２とを主に有し、各支持部間にはそれぞれ弾性を増強させる中空部１２１が形成され、組み立ての利便性を図るために、固定パッド上には固定座２に枢設するための複数の枢設部１３，１４が形成され、固定座をカバー内に固定することにより、ウェハを固定し、固定パッドの下端に回転車輪が枢設され、使用時において微粒の粉塵の発生を減少させることができる。【選択図】図１</p> |
