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发明名称 Aktuator und Verfahren zu seiner Herstellung
摘要
申请公布号 DE102007038280(B4) 申请公布日期 2010.11.25
申请号 DE20071038280 申请日期 2007.08.03
申请人 LEIBNIZ-INSTITUT FUER FESTKOERPER- UND WERKSTOFFFORSCHUNG DRESDEN E.V. 发明人 MENZEL, SIEGFRIED;SCHMIDT, HAGEN
分类号 B82B1/00;B82B3/00;G01Q70/12;G01Q80/00;H01L41/09;H02N2/02 主分类号 B82B1/00
代理机构 代理人
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