发明名称 PHOTOACID GENERATOR CONTAINING ?-FURILDIOXIME WITH SULFONATE GROUPS AND RESIST COMPOSITION COMPRISING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100996652(B1) 申请公布日期 2010.11.25
申请号 KR20030069549 申请日期 2003.10.07
申请人 发明人
分类号 G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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