双频磁响应负磁导率金属复合结构材料及其制作方法

摘要

双频磁响应负磁导率金属复合结构材料由第一金属复合结构组或第二金属复合结构组在基底上按周期T排列或多组交错排列构成，金属复合结构组包含L形悬臂、金属条、支撑臂、空气层或介质层；其中一种双频磁响应负磁导率金属复合结构材料的制作方法包括以下步骤：(1)用微细加工工艺技术制作出金属条；(2)用台阶阴影法进行定向蒸发，制作出牺牲层；(3)用上述相同的定向蒸发制作出L形悬臂和支撑臂；(4)最后用湿法腐蚀或者等离子体灰化技术除去牺牲层。本发明所述材料不仅实现了可见光和近红外波段双频磁响应负磁导率，而且特征尺寸也足够大，用30纳米-百纳米级微细加工工艺即可实现制作。

主权项

双频磁响应负磁导率金属复合结构材料，其特征在于：由第一金属复合结构组(1)或者由第二金属复合结构组(3)与基底(2)组成，其中所述第一金属复合结构组(1)或者第二金属复合结构组(3)按照横向周期的排列在所述基底(2)上；所述第一金属复合结构组(1)由L形悬臂(101)、支撑臂(103)、第一空气层(102)、第二空气层(105)和金属条(104)组成，L形悬臂(101)包括紧密连接于下端的第一加强支撑法兰(106)与基底(2)的上表面紧密连接，支撑臂(103)与L形悬臂(101)的悬臂上下紧密连接，从而对L形悬臂(101)的悬臂起支撑作用；支撑臂(103)包括紧密连接于下端的第二加强支撑法兰(107)与基底(2)的上表面紧密连接；金属条(104)在最里面，金属条(104)上表面与L形悬臂(101)的悬臂下表面之间是第二空气层(105)，金属条(104)的侧面与L形悬臂(101)的内侧面也有第一空气层(102)，金属条(104)的另一侧面与支撑臂(103)的内侧面紧密连接，增加支撑臂(103)的刚度，金属条(104)的下表面与基底(2)的上表面紧密相连；所述第二金属复合结构组(3)由L形悬臂(301)、第一介质层(302)、第二介质层(303)和金属条(304)组成，L形悬臂(301)包括紧密连接于下端的第三加强支撑法兰(305)与基底(2)的上表面紧密连接，在L形悬臂(301)的下部里面作有金属条(304)，在金属条(304)的上表面和L形悬臂(301)的悬臂下面，以及金属条(304)的侧面和L形悬臂(301)的内侧面之间，制作了第二介质层(303)和第一介质层(302)，两介质层把L形悬臂(301)和金属条(304)紧密连接起来，金属条(304)的下表面与基底(2)的上表面紧密相连；所述双频磁响应负磁导率金属复合结构材料能够同时实现可见光和近红外波段的双频磁响应负磁导率。