发明名称
摘要
申请公布号 JP4584437(B2) 申请公布日期 2010.11.24
申请号 JP20000318801 申请日期 2000.10.19
申请人 发明人
分类号 H01L27/08;H01L29/73;H01L21/331;H01L21/762;H01L21/8222;H01L21/8234;H01L21/8242;H01L21/8248;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/108;H01L27/12;H01L29/786 主分类号 H01L27/08
代理机构 代理人
主权项
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