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发明名称
摘要
申请公布号
JP4584437(B2)
申请公布日期
2010.11.24
申请号
JP20000318801
申请日期
2000.10.19
申请人
发明人
分类号
H01L27/08;H01L29/73;H01L21/331;H01L21/762;H01L21/8222;H01L21/8234;H01L21/8242;H01L21/8248;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/108;H01L27/12;H01L29/786
主分类号
H01L27/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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