发明名称 |
一种硅单晶炉的热场系统 |
摘要 |
本实用新型涉及一种硅单晶炉的热场系统,包括加热器、坩埚、导流筒、保温筒、保温盖、保温层以及埚托、托杆、上压片和下压片;还包括设置于上保温盖上面的挡圈;且保温层分为上保温套、中保温套和下保温套,分别设置于所述上保温筒、中保温筒和下保温筒的外侧。改善了热场系统的保温性能和保护气体的流动性能,有利于提高最终产品的质量。 |
申请公布号 |
CN201648565U |
申请公布日期 |
2010.11.24 |
申请号 |
CN201020218524.5 |
申请日期 |
2010.06.04 |
申请人 |
浙江芯能光伏科技有限公司 |
发明人 |
屠勇勇;李金甫 |
分类号 |
C30B15/14(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I |
主分类号 |
C30B15/14(2006.01)I |
代理机构 |
浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 |
代理人 |
吴关炳 |
主权项 |
一种硅单晶炉的热场系统,包括加热器、坩埚、导流筒、保温筒、保温盖、保温层以及埚托、托杆、上压片和下压片;所述保温筒包括上保温筒、中保温筒和下保温筒;所述保温盖包括上保温盖和下保温盖;其特征在于,还包括挡圈,所述挡圈设置于上保温盖的上面;所述保温层分为上保温套、中保温套和下保温套,分别设置于所述上保温筒、中保温筒和下保温筒的外侧。 |
地址 |
314400 浙江省海宁市经济开发区皮都路9号 |