发明名称 |
生产平板太阳能吸热镀膜板的装置 |
摘要 |
本实用新型生产平板太阳能吸热镀膜板的装置,包括前保持室、前真空锁定室、连续镀膜室、后保持室和后锁定室,基片以断续方式快速通过前保持室和前真空锁定室和同样以断续方式快速通过后保持室和后真空锁定室的传送机构是电机拖动转动辊轴,辊轴表面摩擦传送基片,本实用新型装置生产的吸热镀膜板具有吸收率高、发射率低的优点。本实用新型生产效率高,成本低。 |
申请公布号 |
CN201648513U |
申请公布日期 |
2010.11.24 |
申请号 |
CN201020147124.X |
申请日期 |
2010.03.31 |
申请人 |
甘国工 |
发明人 |
甘国工;惠述伟;徐胜洋 |
分类号 |
C23C14/56(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/56(2006.01)I |
代理机构 |
成都立信专利事务所有限公司 51100 |
代理人 |
江晓萍 |
主权项 |
生产平板太阳能吸热镀膜板的装置,包括前真空锁定室、前保持室、至少有三组磁控溅射靶与相应的溅射腔室的能在基片上依次沉积由金属膜组成的红外光波反射层/至少一组由金属膜或金属介质复合膜与介质膜组成的干涉膜堆/减反射层、或者在基片上依次沉积由金属膜组成的红外光波反射层/吸热半导体材料膜或金属介质复合材料膜/减反射层、以此在基片上形成太阳能吸收功能膜的连续镀膜室、后保持室、后真空锁定室,磁控溅射靶及靶材,电源,工艺气体进气管及控制系统,真空抽气系统,基片传送机构,其特征在于基片以断续方式快速通过前保持室和前真空锁定室和同样以断续方式快速通过后保持室和后真空锁定室的传送机构是电机拖动转动辊轴,辊轴表面摩擦传送基片,在大气与前真空锁定室之间、后真空锁定室与大气之间有真空阀门,前真空锁定室与前保持室之间,后保持室与后真空锁定室之间有真空阀门,前保持室与连续镀膜室之间、连续镀膜室与后保持室之间有让基片分批次按生产节奏进入连续镀膜室或退出连续镀膜室的真空阀门。 |
地址 |
610100 四川省成都市龙泉驿区经济技术开发区星光中路103号东泰(成都)工业有限公司 |