发明名称 METHODS FOR MEASUREMENT AND CHARACTERIZATION OF INTERFEROMETRIC MODULATORS
摘要
申请公布号 EP2252899(A2) 申请公布日期 2010.11.24
申请号 EP20090739303 申请日期 2009.02.05
申请人 QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 GOVIL, ALOK
分类号 B81C99/00;G01R19/00;G01R27/08 主分类号 B81C99/00
代理机构 代理人
主权项
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