感光性元件、光阻图型的形成方法及印刷电路板制造方法

摘要

本发明涉及提供，尤其是相对于波长400～450nm的光所进行的曝光，感度及分辨率优异，显影后的光阻的剖面形状为矩形的感光性元件、光阻图型的形成方法及印刷电路板的制造方法。本发明是具备支持体与感光性树脂组合物层的感光性元件，所述感光性树脂组合物层由含有(A)粘合剂聚合物，(B)光聚合性化合物及(C)光聚合引发剂的感光性树脂组合物所构成。所述感光性元件的特征为，感光性树脂组合物的(C)成分是含有下述式(I)所表示的噻吨酮系化合物；相对于(A)成分及(B)成分的总量100重量份以噻吨酮系化合物的重量份为P，感光性树脂组合物层的膜厚为Q(μm)时的P与Q的积R满足式(1)的条件。下述式(I)中，R¹～R⁸表示氢原子、卤原子或烃基。25.5≤R≤79.0……(1)[化1]

主权项

1.一种感光性元件，其至少具备支持体和感光性树脂组合物层，所述感光性树脂组合物层由设置于该支持体上的含有(A)包含苯乙烯或苯乙烯衍生物作为共聚合成分的粘合剂聚合物、(B)分子内具有一个或一个以上可聚合的乙烯性不饱和键的光聚合性化合物及(C)光聚合引发剂的感光性树脂组合物所构成，如此构成的感光性元件，其特征为，前述感光性树脂组合物中含有作为前述(C)成分的由下述式(I)所表示的噻吨酮系化合物和下述式(II)所表示的酰基膦氧化物，其中式(I)为：[化1]；相对于前述(A)成分及前述(B)成分的总量100重量份，前述噻吨酮系化合物的重量份为P，感光性树脂组合物层的膜厚为Q(μm)时，P与Q的积R满足下述式(1)：25.5≤R≤79.0……(1)的条件，上述式(I)中，R¹、R²、R³、R⁴、R⁵、R⁶、R⁷及R⁸各自独立表示氢原子、卤原子或碳原子数为1～3的烷基或碳原子数为1～3的链烯基；其中式(II)为：[化2]上述式(II)中，X表示取代或未取代的芳基，其中取代的芳基中的取代基是碳原子数为1～5的烷基，R¹¹及R¹²各自独立表示碳原子数为1～20的烷基，h及i各自独立表示0～5的整数。