溅镀装置

摘要

本发明提供一种溅镀装置，其包括一个腔体、一个承载部及至少一个靶体。所述腔体内形成有一个溅镀腔，所述承载部及所述至少一个靶体设于溅镀腔内。所述承载部包括一个固定座、一个转盘及多个穿设于所述转盘的转柱，所述固定座固定于腔体底部，所述固定座包括一个齿轮部，所述转盘位于固定座上方并通过一贯穿固定座的转轴驱动转动，所述多个转柱底端具有齿状结构与所述固定座的齿轮部啮合，所述转柱用于悬挂待镀工件并随所述转盘一起转动且能够沿转柱自身中心轴转动。所述溅镀装置可同时对大量工件进行溅镀，具有较高的溅镀效率且所镀膜层具有较佳的膜厚一致性。

主权项

一种溅镀装置，其包括一个腔体、一个承载部及至少一个靶体，所述腔体内形成有一个溅镀腔，所述承载部及所述至少一个靶体设于溅镀腔内，其特征在于，所述承载部包括一个固定座、一个转盘及多个穿设于所述转盘的转柱，所述固定座固定于腔体底部，所述固定座包括一个齿轮部，所述转盘位于固定座上方并通过一贯穿固定座的转轴驱动转动，所述多个转柱底端具有齿状结构与所述固定座的齿轮部啮合，所述转柱用于悬挂待镀工件并随所述转盘一起转动且能够沿转柱自身中心轴转动。