一种柔性集成化超声换能器及其制备方法

摘要

一种柔性集成化超声换能器，由有机薄膜晶体管和压电传感器集成而成，具体是依次由基底、防潮隔离层、源漏电极、半导体薄膜层、栅介质层、栅电极层、电信号耦合层、压电薄膜层、电极层和超声耦合层构成。本发明为了便于制备二维柔性超声换能器阵列，采用柔性PET作为基底，PET基底上沉积一层二氧化硅薄膜用于隔离湿汽；用PVDF薄膜作为超声传感器的压电材料具有压电性能好、低声阻抗、与水和有机体具有良好的声阻抗匹配，从而使灵敏度提高、频带变宽；PVDF薄膜的高柔顺性为压电传感器集成提供良好的技术基础。采用有机薄膜晶体管作为内置信号放大，提高增益和信噪比，改善抗干扰能力。

主权项

一种柔性集成化超声换能器，其特征在于由有机薄膜晶体管和压电传感器集成而成，具体是依次由基底、防潮隔离层、源漏电极、半导体薄膜层、栅介质层、栅电极层、电信号耦合层、压电薄膜层、电极层和超声耦合层构成。