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发明名称 MICROMACHINED ASSEMBLY WITH A MULTI-LAYER CAP DEFINING CAVITY
摘要
申请公布号 EP1602124(A4) 申请公布日期 2010.11.24
申请号 EP20040714627 申请日期 2004.02.25
申请人 IC MECHANICS, INC. 发明人 CARLEY, RICHARD, L.;SANTHANAM, SURESH
分类号 H01L21/00;B81B7/02;B81C1/00;H01L;H01L21/4763;H01L29/84 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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