| 发明名称 |
Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterchips |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE102004029094(B4) |
申请公布日期 |
2010.11.18 |
| 申请号 |
DE20041029094 |
申请日期 |
2004.06.16 |
| 申请人 |
DISCO CORP. |
发明人 |
KAJIYAMA, KEIICHI;ODANAKA, KENTARO |
| 分类号 |
H01L21/52;H01L21/78;B23K26/00;B24B1/00;B28D5/00;H01L21/30;H01L21/301;H01L21/304;H01L21/44;H01L21/58;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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