发明名称 VERFAHREN ZUR OBERFLÄCHENMODIFIKATION VON FLACHEN SUBSTRATEN
摘要
申请公布号 DE502008001485(D1) 申请公布日期 2010.11.18
申请号 DE200850001485T 申请日期 2008.05.20
申请人 RENA GMBH 发明人 KALTENBACH, KONRAD;SCHIENLE, FRANK;BALDUS, ANDREAS;BARBAR, GHASSAN
分类号 B05C3/18;C03C17/00;C03C17/22;H01L31/18 主分类号 B05C3/18
代理机构 代理人
主权项
地址