MANUFACTURING METHOD OF SPUTTERING TARGET USING SUPER-SONIC FLOW DEPOSITION FORMING TECHNOLOGY,申请号KR20080046704-传众专利搜索

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发明名称	MANUFACTURING METHOD OF SPUTTERING TARGET USING SUPER-SONIC FLOW DEPOSITION FORMING TECHNOLOGY
摘要
申请公布号	KR100994973(B1)	申请公布日期	2010.11.18
申请号	KR20080046704	申请日期	2008.05.20
申请人		发明人
分类号	C23C14/34;C23C24/04	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
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