两自由度微动定位平台

摘要

本发明公开了一种两自由度微动定位平台。它由基座、X方向放大杠杆、Y方向放大杠杆、复合平行四杆导向机构以及运动平台组成，X方向与Y方向的压电陶瓷驱动器相互垂直地分别放置在基座上的两个矩形槽内，驱动器的输出端通过拧紧预紧螺母紧靠在放大杠杆的输入铰链上。本发明由于采用了特殊结构的放大杠杆和复合平形四杆导向机构，微定位平台结构紧凑，体积小，能在实现大的运动范围的同时保证高的频响，X方向和Y方向的运动能有效解耦，压电陶瓷驱动器和柔性铰链平台的组合保证了运动传递的无摩擦，无间隙、高精度、高稳定性和快速响应。

主权项

一种两自由度微动定位平台，其特征在于：包括基座(9)、X方向放大杠杆(11)、Y方向放大杠杆(21)、复合平行四杆导向机构以及运动平台(15)；X方向压电陶瓷驱动器(14)与Y方向压电陶瓷驱动器(18)相互垂直的放置在基座(9)上各自的矩形槽内，X方向压电陶瓷驱动器(14)的输出端通过拧紧X方向预紧螺母(16)紧靠在X方向放大杠杆的输入铰链(12)上，X方向放大杠杆的固支铰链(13)与基座(9)铰接，X方向放大杠杆(11)的输出铰链(10)与复合平行四杆导向机构的中部铰接，Y方向压电陶瓷驱动器(18)的输出端通过拧紧Y方向预紧螺母(17)紧靠在Y方向放大杠杆的输入铰链(20)上，Y方向放大杠杆的固支铰链(19)与基座(9)铰接，Y方向放大杠杆(21)的输出铰链(22)与复合平行四杆导向机构的中部铰接，运动平台(15)位于基座(9)的中部，复合平行四杆导向机构第三组柔性铰链(3-1、3-2)，复合平行四杆导向机构第四组柔性铰链(4-1、4-2)，复合平行四杆导向机构第七组柔性铰链(7-1、7-2)和复合平行四杆导向机构第八组柔性铰链(8-1、8-2)分别铰接在运动平台(15)的四个侧面。