发明名称 APPARATUS FOR INSPECTING IC PACKAGE
摘要
申请公布号 JPS6466570(A) 申请公布日期 1989.03.13
申请号 JP19870222896 申请日期 1987.09.08
申请人 NIPPON LSI KK 发明人 SHIMOZATO YUKIO
分类号 G01R31/00;G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/00
代理机构 代理人
主权项
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