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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR PROCESSING METHOD USING VIRTUAL MODULES
摘要
申请公布号
EP1782139(B1)
申请公布日期
2010.11.17
申请号
EP20050768604
申请日期
2005.06.30
申请人
TOKYO ELECTRON LIMITED;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
FUNK, MERRITT;NATZLE, WESLEY
分类号
G05B19/418;H01L21/00
主分类号
G05B19/418
代理机构
代理人
主权项
地址
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