发明名称 SEMICONDUCTOR PROCESSING METHOD USING VIRTUAL MODULES
摘要
申请公布号 EP1782139(B1) 申请公布日期 2010.11.17
申请号 EP20050768604 申请日期 2005.06.30
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 FUNK, MERRITT;NATZLE, WESLEY
分类号 G05B19/418;H01L21/00 主分类号 G05B19/418
代理机构 代理人
主权项
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