一种孔洞有序排列的多孔硅的制备方法

摘要

本发明公开了一种孔洞有序排列的多孔硅的制备方法，属于微加工技术领域。该方法首先将硅衬底表面抛光或选择已经单面或双面抛光的硅衬底；在硅衬底表面预制若干个与多孔硅的孔洞宽度相匹配的凹槽，凹槽的排列与所述多孔硅的孔洞分布一致，对上述带有凹槽的硅片进行阳极腐蚀，即可形成孔洞有序排列的多孔硅。采用本发明，多孔硅孔洞将沿着凹槽方向整齐排列，工艺简单、可靠，降低有序多孔硅的制备成本。而且通过预先设计凹槽的方向或排列方式，可有效制备一维或二维孔洞有序排列的多孔硅。

主权项

一种孔洞有序排列的多孔硅的制备方法，其步骤包括：1)选择单面或双面抛光的硅作为衬底；2)在硅衬底表面制得若干个与多孔硅的孔洞宽度相匹配的凹槽，凹槽的排列与所述多孔硅的孔洞分布一致；所述凹槽的宽度与最后多孔硅孔洞直径相仿，或者略小于孔洞直径；3)对上述带有凹槽的硅片进行阳极腐蚀，形成孔洞有序排列的多孔硅。