发明名称 SYSTEM FOR PLASMA TREATMENT OF ENDLESS MATERIALS
摘要
申请公布号 EP1925015(B1) 申请公布日期 2010.11.17
申请号 EP20060774775 申请日期 2006.09.12
申请人 ZIGER, PETER;EISELT, PRIMOZ 发明人 ZIGER, PETER;EISELT, PRIMOZ
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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