基板输送装置及基板输送装置的控制方法

摘要

本发明提供一种基板输送装置，基板输送装置(100)将载置在机械手部(10)上的基板W输送给处理装置或者规定的收容部，其中，具备支承作为上述机械手部(10)的一端的根部侧并且使上述机械手部(10)在其延长方向往复移动的移动组件(20)；检测伴随在上述机械手部(10)上载置上述基板时的挠曲的上述机械手部(10)的前端部的相对于水平方向的倾斜的倾斜检测组件(30)；使上述机械手部(10)整体俯仰摆动，以便消除上述机械手部(10)的上述前端部的倾斜的倾斜修正组件(40)。

主权项

一种基板输送装置，该基板输送装置将载置在机械手部上的基板输送给处理装置或者规定的收容部，其特征在于，具备：移动组件，该移动组件支承作为上述机械手部的一端的根部侧，并且使上述机械手部在其延长方向往复移动；倾斜检测组件，该倾斜检测组件检测伴随在上述机械手部载置了上述基板时的挠曲的上述机械手部的前端部的相对于水平方向的倾斜；倾斜修正组件，该倾斜修正组件使上述机械手部整体进行俯仰摆动，以便消除上述机械手部的上述前端部的倾斜。