| 发明名称 |
CARBON NANOTUBE REINFORCED WIRESAW BEAM USED IN WIRESAW SLICING OF INGOTS INTO WAFERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20100120685(A) |
申请公布日期 |
2010.11.16 |
| 申请号 |
KR20107020281 |
申请日期 |
2009.02.06 |
| 申请人 |
MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC. |
发明人 |
GUPTA PUNEET |
| 分类号 |
B28D5/00;B23D61/18;B24B27/06;H01L21/304 |
主分类号 |
B28D5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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