发明名称 半导体封装用印刷电路板之窗口加工方法
摘要
申请公布号 TWI333265 申请公布日期 2010.11.11
申请号 TW095135043 申请日期 2006.09.22
申请人 熙姆科技股份有限公司 发明人 丁彰宝;吴春焕
分类号 H01L23/12 主分类号 H01L23/12
代理机构 代理人 李品佳 台北市中山区复兴北路288号8楼之1
主权项 一种半导体封装用印刷电路板之窗口加工方法,针对不至于发生金属毛刺之半导体封装用印刷电路板之制造方法,其特征包括如下几个步骤:显影步骤,在敷铜基板两面压附乾膜,除将形成指状焊片之部分外,使其他部分均暴露于外部;蚀刻步骤,去除在上述显影步骤暴露于外部之部分之铜,形成指状焊片;退膜步骤,在上述蚀刻步骤形成指状焊片后,去除上述压附之乾膜;阻焊涂布步骤,使除通过上述退膜步骤形成之指状焊片与焊盘之外之区域绝缘;镀金/镀镍步骤,在上述阻焊涂布步骤中暴露之指状焊片与焊盘上进行电镀,形成镀金/镀镍层;遮罩涂布步骤,在上述镀金/镀镍步骤进行镀金后,利用遮罩遮盖镀金线;布线步骤,以在上述遮罩涂布步骤中被遮盖之镀金线为中心,加工形成印刷电路板之外形及槽口;遮罩剥离步骤,在上述布线步骤中加工槽口后,去除镀金线上涂布之遮罩。根据申请专利范围第1项所述之半导体封装用印刷电路板之窗口加工方法,其特征为,在用于上述布线步骤之遮罩涂布步骤中,利用曝光或显像,在涂布遮罩物质后形成遮罩区域。根据申请专利范围第1项所述之半导体封装用印刷电路板之窗口加工方法,其特征为,在上述遮罩涂布步骤中,遮罩涂布物质使用固态或液态之物质。
地址 南韩