| 主权项 |
一种光阻显像液用消泡分散剂，其特征为包含有部分脂肪酸酯，该部份脂肪酸酯是使相对碳元素15以上之高级脂肪酸(fatty acid)100质量部、碳元素6-14的中级脂肪酸之比率为5-300质量部的混合脂肪酸，与脂肪族3元醇反应后所得之含有单酯、次酯及三酯的部分脂肪酸酯混合物，且其中该部分脂肪酸酯混合物中的三酯的含有量为20质量%以下，且次酯含量比率以相对于单酯100质量部计，为5~1,500质量部。如申请专利范围第1项所记载之光阻显像液用消泡分散剂，其中该混合脂肪酸中的分枝脂肪酸及直链不饱和脂肪酸的含有量，为该混合脂肪酸全量之5~80质量%。如申请专利范围第1或2项所记载之光阻显像液用消泡分散剂，其中该脂肪族3元醇为含有碳元素3~6之脂肪族3元醇(alcohol)。如申请专利范围第1或2项所记载之光阻显像液用消泡分散剂，其进一步包含一种含有碳元素10~20之脂肪酸之聚醚聚醇酯(polyether polyol ester)。一种硷性之光阻显像液，含有如申请专利范围第1-4项中之任一项所记载之光阻显像液用消泡分散剂。 |
