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发明名称
Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand
摘要
申请公布号
DE102009010988(B4)
申请公布日期
2010.11.04
申请号
DE20091010988
申请日期
2009.02.19
申请人
CARL ZEISS OIM GMBH
发明人
KNUPFER, KLAUS
分类号
G01N21/88
主分类号
G01N21/88
代理机构
代理人
主权项
地址
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