Verfahren und Kalibriermaske zum Kalibrieren einer Positionsmessvorrichtung

摘要

Ein Verfahren zum Kalibrieren einer Vorrichtung (10) zur Positionsvermessung von Messstrukturen (14) auf einer Lithographiemaske (12) umfasst die folgenden Schritte: Qualifizieren einer Kalibriermaske (40) mit darauf angeordneten diffraktiven Strukturen (42) durch Bestimmen von Positionen der diffraktiven Strukturen (42) zueinander mittels interferometrischer Messung, Bestimmen von Positionen von auf der Kalibriermaske (40) angeordneten Messstrukturen (14) zueinander mittels der Vorrichtung sowie Kalibrieren der Vorrichtung (10) mittels der für die Messstrukturen (14) bestimmten Positionen sowie der für die diffraktiven Strukturen (42) bestimmten Positionen.