发明名称 |
一种夹具及带夹具的样品盒 |
摘要 |
本实用新型揭露了一种夹具及带夹具的样品盒,所述夹具包括底座和固定在所述底座上的两个弹簧片,所述带夹具的样品盒包括盒体,盒盖以及设置于所述盒体内的夹具。使用本实用新型所提供的带夹具的样品盒进行透射电子显微镜(transmission electron microscope,TEM)样品传送的过程中,样品的载体可竖直固定在夹具上,可防止载体的移动,方便载体的取出,避免样品的脱落或破损,从而简化了操作,降低了样品的报废率,节约了生产成本。 |
申请公布号 |
CN201623016U |
申请公布日期 |
2010.11.03 |
申请号 |
CN200920212173.4 |
申请日期 |
2009.11.10 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
何明森;黄金成 |
分类号 |
H01L21/687(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/687(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种夹具,其特征在于,包括底座和固定在所述底座上的两个弹簧片。 |
地址 |
201203 上海市张江路18号 |