发明名称 一种夹具及带夹具的样品盒
摘要 本实用新型揭露了一种夹具及带夹具的样品盒,所述夹具包括底座和固定在所述底座上的两个弹簧片,所述带夹具的样品盒包括盒体,盒盖以及设置于所述盒体内的夹具。使用本实用新型所提供的带夹具的样品盒进行透射电子显微镜(transmission electron microscope,TEM)样品传送的过程中,样品的载体可竖直固定在夹具上,可防止载体的移动,方便载体的取出,避免样品的脱落或破损,从而简化了操作,降低了样品的报废率,节约了生产成本。
申请公布号 CN201623016U 申请公布日期 2010.11.03
申请号 CN200920212173.4 申请日期 2009.11.10
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 何明森;黄金成
分类号 H01L21/687(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I 主分类号 H01L21/687(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种夹具,其特征在于,包括底座和固定在所述底座上的两个弹簧片。
地址 201203 上海市张江路18号
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