| 发明名称 |
ION IMPLANTER, ION IMPLANTATION METHOD AND PROGRAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20100117646(A) |
申请公布日期 |
2010.11.03 |
| 申请号 |
KR20107019573 |
申请日期 |
2009.03.24 |
| 申请人 |
MITSUI ENGINEERING & SHIPBUILDING CO., LTD. |
发明人 |
TSUJI YASUYUKI |
| 分类号 |
H01J37/317;G21K1/093;H01J37/04 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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