| 发明名称 | 光罩 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种光罩，其在使用后能够很轻易的除去防尘薄膜组件。本发明的光罩在透明基板的图案区域的外周围的防尘薄膜组件框架装设区域上形成遮光膜。该光罩宜为负型光致抗蚀剂用光罩。又，在该光罩的该防尘薄膜组件框架装设区域上所形成的遮光膜宜与该透明基板直接接触。又，该光罩的该透明基板宜为石英玻璃基板。 | ||
| 申请公布号 | CN101876786A | 申请公布日期 | 2010.11.03 |
| 申请号 | CN201010133578.6 | 申请日期 | 2010.03.15 |
| 申请人 | 信越化学工业株式会社 | 发明人 | 白崎享 |
| 分类号 | G03F1/14(2006.01)I | 主分类号 | G03F1/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 一种光罩，其特征在于，在透明基板的图案区域外周的防尘薄膜组件框架装设区域上形成遮光膜。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||