| 主权项 |
一种载具，其适用于在晶圆厂中的射频识别感应操作，其包括：载具本体，其包含一平板，其包含一与该载具对应之载具识别号码之可目视识别之铭刻；以及射频识别标签，其系设于该载具本体，用以储存工作人员可直接目视读取的该载具识别号码；其中该载具系为前开式晶圆传送匣(Front Opening Unified Pod,FOUP)、或前开式晶圆运输盒(front opening shipping box，FOSB)、或光罩盛装匣。一种处理系统，其包括：工作站台，其包含射频识别标签读取机；载具，其用以盛装在该处理系统中接受处理的工作件，该载具系为前开式晶圆传送匣(Front Opening Unified Pod,FOUP)、或前开式晶圆运输盒(front opening shipping box，FOSB)、或光罩盛装匣，其包含：载具本体，其包含一平板，其包含一与该载具对应之载具识别号码之可目视识别之铭刻；以及射频识别标签，其系设于该载具本体，用以储存该载具识别号码；以及控制装置，其依据该载具识别号码提供处理资讯，并依据该处理资讯控制该站台的运作。如申请专利范围第2项所述之处理系统，其中该工作站台为用以处理该工作件之处理机台。如申请专利范围第2项所述之处理系统，其中该工作站台为用以传送该工作件之运输站台。 |
