| 发明名称 |
LIQUID MATERIAL CARBURETOR, AND FILMING DEVICE USING THE CARBURETOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20100116170(A) |
申请公布日期 |
2010.10.29 |
| 申请号 |
KR20107013745 |
申请日期 |
2008.12.08 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
OKABE TSUNEYUKI;OKURA SHIGEYUKI |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/448;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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