PIEZOELECTRIC DRIVE AND MICROVALVE COMPRISING SAID DRIVE

摘要

Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Antrieb, insbesondere für Mikroventile. Der Antrieb umfasst eine Verformungsschicht (04), welche auf einer Seite an eine piezoelektrische Schicht (01) gekoppelt ist, die zur elektrischen Versorgung mit mindestens einem Elektrodenpaar (03) aus zwei gegenpoligen Elektroden versehen ist. Erfindungsgemäß sind die beiden gegenpoligen Elektroden des Elektrodenpaars (03) gemeinsam an der der Verformungsschicht (04) abgewandten Seite der piezoelektrischen Schicht (01) angeordnet. Die Erfindung betrifft außerdem ein Mikroventil mit mindestens einem Ventilkanal (08, 09) und einer den Ventilkanal öffnenden oder schließenden Membran (04), wobei die Membran (04) zugleich die Verformungsschicht eines derartigen piezoelektrischen Antriebs bildet.