| 发明名称 |
Verfahren und Anordnung zur skalierbaren Interferometrie |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE102008062879(B4) |
申请公布日期 |
2010.10.28 |
| 申请号 |
DE20081062879 |
申请日期 |
2008.12.15 |
| 申请人 |
UNIVERSITAET STUTTGART |
发明人 |
KOERNER, KLAUS;OSTEN, WOLFGANG |
| 分类号 |
G01B11/24;G01B9/02;G01B11/06;G01B11/14 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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