METHOD AND DEVICE FOR INTRODUCING AND REMOVING SUBSTRATES

摘要

Beschrieben wird ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Ein- und Ausschleusen von Substraten. Über eine Transporteinrichtung (4) werden Substrate (5) in eine Schleuse (2) transportiert. In der Schleuse befindet sich unterhalb der Substrate (5) ein Auffangbehälter (3) mit dem mögliche Substratbruchstücke (19) aufgefangen werden. Die Substrate (5) werden nach dem Fluten der Schleuse (2) zusammen mit dem Auffangbehälter (3) und dem Schleusendeckel (18) ausgeschleust. Dabei bilden Schleusendeckel (18) und Auffangbehälter (3) eine nahezu geschlossene Box um die Substrate (5). Nach dem Wechseln der Substrate (5) und dem Leeren des Auffangbehälters (3) werden die neuen Substrate (5) zusammen mit dem Auffangbehälter eingeschleust. Für einen effektiven Produktionsprozess erfolgen alle Schritte im Maschinenzyklus.