| 发明名称 |
Verfahren zur optischen Inspektion eines Halbleitersubstrats |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10307454(B4) |
申请公布日期 |
2010.10.28 |
| 申请号 |
DE20031007454 |
申请日期 |
2003.02.21 |
| 申请人 |
VISTEC SEMICONDUCTOR SYSTEMS GMBH |
发明人 |
MICHELSSON, DETLEF |
| 分类号 |
H01L21/66;G01D1/14;G01N21/95;G06T7/00;G06T7/40 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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