用于从静电吸盘最优化移开晶片的方法

摘要

描述了一种从静电吸盘最优化释放晶片的系统和方法。监测提升销结构上的力并且基于所述力确定释放电压。以所确定的释放电压释放晶片。

主权项

一种衬底处理系统，包括：静电吸盘；提升销，所述提升销用于相对于所述静电吸盘移动晶片；电机，所述电机与所述提升销耦接并且利用电机电流移动所述提升销，以便相对于所述静电吸盘移动所述晶片；以及电压源，所述电压源与所述静电吸盘耦接，所述电压源用于施加电压到所述静电吸盘；以及控制器，所述控制器用于测量所述提升销上的力、发送信号给所述电压源以调整施加到所述静电吸盘的所述电压，并且发送信号给所述电压源以固定在所述提升销上所测量的力对应于释放力的值时施加到所述静电吸盘的所述电压。