发明名称 |
具有柱形结构的管芯及其制造方法 |
摘要 |
本发明公开了一种包括衬底和在所述衬底上以某种图案形成的一个或多个柱形结构的管芯以及形成该管芯的方法。 |
申请公布号 |
CN1606155B |
申请公布日期 |
2010.10.27 |
申请号 |
CN200410034758.3 |
申请日期 |
2004.05.12 |
申请人 |
先进封装技术私人有限公司 |
发明人 |
金辉·谭;刘世奎;庄汉·沈;巴拉苏布科马尼恩·西瓦格纳姆;罗斯马丽·塔卡普洛特;延元·庞;马·L·南·托伊;林中·信 |
分类号 |
H01L23/48(2006.01)I;H01L23/52(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/48(2006.01)I |
代理机构 |
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 |
代理人 |
肖善强 |
主权项 |
一种管芯,包括:衬底;和在所述衬底上以某种图案形成的两种或更多种不同的柱形结构,所述两种或更多种不同的柱形结构中的至少一个包括下部柱形金属层部分和上部焊料材料部分,所述上部焊料材料部分处于所述下部柱形金属层部分的上方并仅与所述下部柱形金属层部分的上表面牢固接触,其中,在所述衬底和所述至少一个柱形结构之间设置有金属层,所述金属层包括下金属阻挡层和上金属层,其中,所述下部柱形金属层部分在用于形成两种或者更多种不同的柱形结构的回流过程中不熔融,其中,所述两种或更多种不同的柱形结构中的至少一个具有长方形、环形、壁状或齿状形状。 |
地址 |
新加坡新加坡市 |