基于微型机电系统的空间安全红外传感器设备和方法

摘要

一种监控围绕视场(FOV)的空间体积用于检测包括气体或蒸汽侵入的空间安全设备，并包括微型机电系统(MEMS)，它具有用于反射从FOV收集到的红外(IR)能量束的反射镜阵列中的反射镜元件和用于检测被MEMS阵列反射的IR能量并将IR能量转换成输出信号的IR能量检测器。处理器通过改变控制信号或者通过从一个聚焦元件转换到另一个调节MEMS反射镜阵列元件的角度。该方法包括通过定位MEMS反射镜阵列以便反射关于IR检测器的有效元件的IR信号并从FOV的第i部分收集IR能量检测空间体积。

主权项

一种用于监控围绕视场的空间体积的空间安全设备，所述空间安全设备用于检测空间体积中的侵入，所述设备包括：具有用于反射从视场收集到的红外光束的能量的微型机电系统反射镜阵列中的反射镜元件的微型机电系统；以及用于检测被所述微型机电系统反射镜阵列反射的红外光束的能量并将红外光束的能量转换成输出信号的红外能量检测器。