| 摘要 |
1. Устройство для контроля газовой среды, включающее блок питания, систему напуска анализируемой газовой среды, микроконтроллер, управляющий температурным режимом в процессе измерения, вакуумную измерительную камеру, содержащую элемент Пельтье, на рабочей поверхности которого установлены датчик температуры и газовый сенсор, включающий газочувствительный слой с контактами, сформированный в виде модифицированной ионной имплантацией аргона структуры на поверхности высокоомной полупроводниковой подложки, зарядочувствительный усилитель, соединенный с газовым сенсором, отличающееся тем, что элемент Пельтье выполнен, по меньшей мере, двухкаскадным, на рабочей поверхности каждого каскада установлен газовый сенсор и датчик температуры, зарядочувствительный усилитель выполнен многоканальным, количество каналов зарядочувствительного усилителя соответствует количеству газовых сенсоров. ! 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что снабжено блоком управления и обработки данных с аналого-цифровым преобразователем и дискретными каналами ввода-вывода и блоком исполнительных реле для переключения режимов работы устройства. |
