多晶硅氢化炉

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅氢化炉，包括有炉罩、底盘、加热碳棒、进料管和出料管，其中，炉罩安装在底盘上，底盘上安装有至少三组的加热碳棒，炉罩内还设有进料管相连通的喷头，且喷头至少为三个呈并列分布在进料管上，这样便于由喷头进入炉内的进料能充分的扩散开来，从而与加热碳棒有充分的接触面，使得加热更加均匀而充分，出料管安装在底盘上。本实用新型采用多喷头进料方式，使得进料充分扩散，再配合多组加热碳棒，使得加热均匀而充分，大大提高氢化转化率。

主权项

一种多晶硅氢化炉，包括有炉罩(1)、底盘(2)、加热碳棒(3)、进料管(4)和出料管(5)，其特征在于：所述炉罩(1)安装在底盘(2)上，底盘(2)上安装有至少三组的加热碳棒(3)，所述炉罩(1)内还设有与进料管(4)相连通的喷头(6)，且喷头(6)至少为三个呈并列分布在进料管(4)上，所述出料管(5)安装在底盘(2)上。